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ハイブリッドイオンプレーティング装置 SPS-2020

ハイブリッドイオンプレーティング装置 SPS-2020

高品質DLCコーティングを高速成膜

  • 高速DLC成膜
    ツインHCDガンが高密度イオンビームを生成、効率的なイオンクリーニングとターゲット付近のイオン化率を上昇させることにより、DLC成膜速度が向上。
  • ハイブリッド成膜による膜質コントロール
    イオンビームによるスパッタとP-CVDを融合したハイブリッド成膜により膜質をコントロール。
  • 安定した成膜品質
    独自のプラズマ制御とターゲットの最適配置で、バラツキの少ない安定品質を実現。
  • 豊富な成膜バリエーション
    TiNやCrN、TiAlNなどの硬質膜にも対応。
方法 スパッタ、P-CVDハイブリッド方式
取付サイズ Ø500×500h
処理重量 200kg (M.C.)
主なコーティング膜 DLC、TiN、CrN、TiAlN 等

DLC成膜速度の向上

サイクルタイム 約3.5時間(DLC自公転1μm時

成膜事例

膜種 DLC-S
処理品 プランジャ
設置方法 有効寸法500h mm内に5段設置
膜厚 1.7〜2.1µm
膜厚分布 ±10.5%
膜硬度 HV800〜900
摩擦係数 0.07 (対SUS304)
成膜温度 約250°C

成膜サンプル


工具


自動車エンジン用部品


コンプレッサー用ベーン

冷間鍛造用金型
(傘歯車鍛造金型)

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